常用PVD涂层参数类型及单位

（1）维氏硬度：

用来描述PVD涂层的表面硬度，单位为HV，数值越高代表表面硬度越高。

（2）摩擦系数：

用来描述PVD涂层的表面粗糙程度，数值越低代表涂层表面越光滑。

（3）涂层厚度：

单位为μm。与涂层的性能（耐磨性、耐腐蚀性等）相关。

（4）适用工作温度：

单位为℃，跟靶材的原料有关，限制拥有PVD涂层的工件的适用场合。

（5）涂层生成温度：

单位为℃，跟靶材的原料有关，限制适用的基底材质类型。如果涂层生成温度大于基底材质的熔点，则靶材与基底不匹配。

（6）内应力：

当没有外力作用时，物体内部所存在的应力就是内应力，单位为（GPa）。PVD涂层中的内应力限制了涂层的厚度。如果内应力产生的单位体积弹性能超过单位面积断裂能，涂层就会脱落。

（7）外观颜色：

涂层应用冷却后显示出的颜色。